Hier entsteht ein Oxid aus Zink, Aluminium und Sauerstoff, das ZnO:Al - die bislang stabilste und hochwertigste TCO-Schicht. (Quelle: DIE WELT 2001)
Nach der Strukturierung der Schichten wird das Oxid vollständig herausgeätzt, so daß frei bewegliche Strukturen aus Polysilizium entstehen. (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)
Das Cl2 entsteht aus HCl oder Chloriden, dringt in die Zunderschicht ein und reagiert an der Phasengrenze Oxid/Metall zu FeCl2 Abb.4 (Abbildung). (Quelle: bmb+f Forschungslandkarte Deutschland 1998)